簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="脈衝直流磁控濺鍍"


  • 在搜尋的結果範圍內查詢: 搜尋 展開檢索結果的年代分布圖

  • 個人化服務

    我的檢索策略

  • 排序:

      
  • 已勾選0筆資料


      本頁全選

    1

    製程參數對鉻矽碳氮薄膜結構及性質的影響
    • /102/ 碩士
    • 研究生: 高德軒 指導教授: 王朝正
    • 本實驗使用脈衝直流磁控濺鍍系統在200℃及400℃二種環境下鍍製出兩個系列共10批Cr-Si-C-N奈米複合薄膜,鍍製時通入四甲基矽烷(TMS)為前驅物作為薄膜內矽與碳的來源,在製程中逐漸提升TMS…
    • 點閱:183下載:3
    1